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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04241452(A) 申请公布日期 1992.08.28
申请号 JP19910017182 申请日期 1991.01.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIBASHI ATSUHIKO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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