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发明名称 LAYOUT FOR EFFECTIVELY UTILIZING TWIN BOAT OF SEMICONDUCTOR PRODUCING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04239743(A) 申请公布日期 1992.08.27
申请号 JP19910021346 申请日期 1991.01.23
申请人 SHINKO ELECTRIC CO LTD 发明人 TANIYAMA YASUSHI
分类号 H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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