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发明名称 VORRICHTUNG ZUM ERFASSEN DER POSITION UND INTENSITAET VON LICHT SOWIE FESTKOERPERBAUELEMENT ZUR VERWENDUNG HIERFUER
摘要
申请公布号 DE4205757(A1) 申请公布日期 1992.08.27
申请号 DE19924205757 申请日期 1992.02.25
申请人 NIPPONDENSO CO., LTD., KARIYA, AICHI, JP 发明人 YAMADA, MANABU, ANJO, AICHI, JP;ONDA, SHOICHI, TOYOKAWA, AICHI, JP;HANAKI, KENICHI, KARIYA, AICHI, JP;HARADA, MASASHI, HEKINAN, AICHI, JP
分类号 G01D5/165;G01S3/783;H01L31/02;H01L31/11 主分类号 G01D5/165
代理机构 代理人
主权项
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