发明名称 Method of forming thin oxide films
摘要
申请公布号 US3306768(A) 申请公布日期 1967.02.28
申请号 US19640339060 申请日期 1964.01.08
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 PETERSON DAVID RALPH
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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