CHEMISCHER DAMPFNIEDERSCHLAG MIT WAERMESTRAHLUNG VON EINER ISOLIERSCHICHT AUF EIN SUBSTRAT AUS III-V-MATERIAL, VERWENDUNG ZUR HERSTELLUNG EINER MIS-STRUKTUR.,申请号DE19873780562-传众专利搜索

发明名称	CHEMISCHER DAMPFNIEDERSCHLAG MIT WAERMESTRAHLUNG VON EINER ISOLIERSCHICHT AUF EIN SUBSTRAT AUS III-V-MATERIAL, VERWENDUNG ZUR HERSTELLUNG EINER MIS-STRUKTUR.
摘要
申请公布号	DE3780562(D1)	申请公布日期	1992.08.27
申请号	DE19873780562	申请日期	1987.10.23
申请人	NISSIM, YVES, PUTEAUX, FR;BENSOUSSAN, MARCEL, BOULOGNE, FR	发明人	NISSIM, YVES, F-92800 PUTEAUX, FR;BENSOUSSAN, MARCEL, F-92100 BOULOGNE, FR
分类号	H01L21/28;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/314	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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