发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04239136(A) 申请公布日期 1992.08.27
申请号 JP19910001881 申请日期 1991.01.11
申请人 NEC CORP 发明人 ARAKI MINORU
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址