发明名称 FLOW CONTROL DEVICE WITH PIEZOELECTRIC VALVE
摘要
申请公布号 JPH04238227(A) 申请公布日期 1992.08.26
申请号 JP19910005164 申请日期 1991.01.21
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 TOMONO TATSUYA
分类号 F16K31/02;G01F13/00;G05D7/06 主分类号 F16K31/02
代理机构 代理人
主权项
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