发明名称 MICROWAVE RADIATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04237991(A) 申请公布日期 1992.08.26
申请号 JP19910004578 申请日期 1991.01.18
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 YAMADA NAOKI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05B6/70 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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