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经营范围
发明名称
Photoemission contaminant detection
摘要
申请公布号
GB2253051(A)
申请公布日期
1992.08.26
申请号
GB19910003563
申请日期
1991.02.20
申请人
* TENCOR INSTRUMENTS
发明人
STANLEY * STOKOWSKI;DAVID * WOLZE;ARMAND P * NEUKERMANS
分类号
G01B11/06;G01N23/227
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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