发明名称 PRODUCTION OF POLYIMIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04236783(A) 申请公布日期 1992.08.25
申请号 JP19910016879 申请日期 1991.01.18
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 TAKENAKA MIKIMATA;MATSUMOTO NOBUHIRO
分类号 C23C18/30;C23C18/28;H05K1/03;H05K3/18;H05K3/38 主分类号 C23C18/30
代理机构 代理人
主权项
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