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发明名称 PROCESS OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE HAVING TRENCH AND FIELD ISOLATION REGIONS
摘要
申请公布号 US5141888(A) 申请公布日期 1992.08.25
申请号 US19910642922 申请日期 1991.01.18
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KAWAJI, MIKINORI;TAKAKURA, TOSHIHIKO;UCHIDA, AKIHISA;KURODA, SHIGEO;TAMAKI, YOICHI;SHIBA, TAKEO;SAGARA, KAZUHIKO;KAWAMURA, MASAO
分类号 H01L21/762;H01L21/763;H01L29/732 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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