发明名称 METHOD OF MEASURING CAPACITY OF FET
摘要
申请公布号 JPH04236443(A) 申请公布日期 1992.08.25
申请号 JP19910004943 申请日期 1991.01.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NEMOTO MASAHISA;SEKI SHOHEI;KAWAKAMI YASUSHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址