发明名称
摘要
申请公布号 JPH0453091(B2) 申请公布日期 1992.08.25
申请号 JP19860023620 申请日期 1986.02.04
申请人 ROHM KK 发明人 ITO SHUZO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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