发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DUENNEN NITRIDODER OXIDSCHICHT AUF EINER OBERFLAECHE
摘要
申请公布号 AT395019(B) 申请公布日期 1992.08.25
申请号 AT19900000818 申请日期 1990.04.05
申请人 AVL GESELLSCHAFT FUER VERBRENNUNGSKRAFTMASCHINEN UND MESSTECHNIK MBH. PROF.DR.DR.H.C. HANS LIST 发明人 SARACOGLU IBRAHIM ADNAN DR.;SCHIEFER ERICH JOSEF DR.
分类号 C23C14/00;C23C14/34 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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