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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号
KR920007022(B1)
申请公布日期
1992.08.24
申请号
KR19890013120
申请日期
1989.09.11
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
发明人
YAMAZAKI, SHUNPEI;TSUCHIYA, MITSUNORI;HAYASHI, SHIGENORI;HIROSE, NAOKI;ISHIDA, NORIYA;SASAKI, MARI;KAWANO, ATSUSHI
分类号
C23C16/26;C23C16/517;(IPC1-7):C23C16/26
主分类号
C23C16/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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