发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH04235277(A) 申请公布日期 1992.08.24
申请号 JP19900419134 申请日期 1990.12.28
申请人 UBE IND LTD 发明人 KAMATANI YOSHITO
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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