发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04233742(A) 申请公布日期 1992.08.21
申请号 JP19900409156 申请日期 1990.12.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KABURAGI KATSUYA
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址