| 发明名称 |
MANUFACTURE OF DILUTE GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04233725(A) |
申请公布日期 |
1992.08.21 |
| 申请号 |
JP19900415626 |
申请日期 |
1990.12.28 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MATSUMIYA YASUO;OTSUKA NOBUYUKI;KODAMA KUNIHIKO;OZEKI MASASHI |
| 分类号 |
B01J4/00;H01L21/22;H01L21/223 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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