发明名称 ELECTRIC CONTACT PREPARATION METHOD INTO GATE STRUCTURE IN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04233226(A) 申请公布日期 1992.08.21
申请号 JP19910157261 申请日期 1991.06.28
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 MINNRIAN CHIEN
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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