发明名称 |
ELECTRIC CONTACT PREPARATION METHOD INTO GATE STRUCTURE IN INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04233226(A) |
申请公布日期 |
1992.08.21 |
申请号 |
JP19910157261 |
申请日期 |
1991.06.28 |
申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
MINNRIAN CHIEN |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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