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经营范围
发明名称
CHARGED CORPUSCULAR BEAM SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH04233147(A)
申请公布日期
1992.08.21
申请号
JP19910216616
申请日期
1991.08.02
申请人
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV
发明人
YOHAN GUSUTAFU BATSUKAA;PIITAA EMIRU SUTEFUAN JIYOSEFU ATSUSERUBAAGUSU
分类号
H01J37/141;H01J37/147;H01J37/26;H01J37/28
主分类号
H01J37/141
代理机构
代理人
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