发明名称 ELEMENT ISOLATION FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04234145(A) 申请公布日期 1992.08.21
申请号 JP19900418463 申请日期 1990.12.28
申请人 NEC CORP 发明人 SATO HIROSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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