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发明名称 TRANSPORTING DEVICE FOR INLINE TYPE FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04231464(A) 申请公布日期 1992.08.20
申请号 JP19900416628 申请日期 1990.12.27
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 YOKOYAMA YOSHIOKI
分类号 C23C14/56;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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