发明名称 FORMATION OF THIN METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH04232259(A) 申请公布日期 1992.08.20
申请号 JP19900408741 申请日期 1990.12.28
申请人 SHARP CORP 发明人 TOKUMARU TERUTAKA;TAKANO TOSHIHIKO;INOUE YOSHIHISA;YANO KOZABURO;OKADA YOSHIO
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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