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经营范围
发明名称
COATING APPARATUS OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH04232264(A)
申请公布日期
1992.08.20
申请号
JP19910205333
申请日期
1991.08.16
申请人
LEYBOLD AG
发明人
KAARU MATORU
分类号
C23C14/34;C23C14/24;C23C14/32
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
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