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发明名称 DEVICE FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04232261(A) 申请公布日期 1992.08.20
申请号 JP19900415977 申请日期 1990.12.28
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 DEO TAKURO
分类号 C23C14/34;C23C14/40;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/515;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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