ELLIPSOMETER AND METHOD OF CONTROLLING COATING THICKNESS BY USE OF ELLIPSOMETER

摘要

Un ellipsomètre selon la présente invention comporte un diviseur de faisceau de lumière non polarisée (18) permettant la division d'une lumière réfléchie (17) renvoyée par un objet à mesurer (16) en des première et deuxième trajectoires lumineuses (18a, 18b); un élément de détection de lumière (19) émettant une composante de lumière polarisée, dans une direction de référence dans la lumière réfléchie divisée en une première trajectoire lumineuse; et un diviseur de faisceau de lumière polarisée (20) pour séparer la lumière réfléchie, divisée en une seconde trajectoire lumineuse, en composantes de lumière polarisée dans des directions différentes de la direction de référence précitée. Alors, les faisceaux lumineux ayant traversé l'élément de détection de lumière (19) et le diviseur de faisceau de lumière polarisée (20) sont reçus par des premier, deuxième et troisième récepteurs de lumière respectifs (21a, 21b, 21c). En outre, dans le procédé de contrôle d'épaisseur de revêtement selon la présente invention, des premier et deuxième ellipsomètres (35a, 35b) sont ménagés à l'avant et à l'arrière du dispositif de revêtement (36) disposé le long d'une trajectoire de transport d'une tôle en forme de bande à revêtir (31).