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发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04232262(A) 申请公布日期 1992.08.20
申请号 JP19910144038 申请日期 1991.05.21
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 ARUKADEI GARITSUKI;CHIEN TSUON HOON;ROBAATO OTSUTOO SHIYUBUENKA
分类号 C23C14/22;C23C14/34;H01J37/32 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
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