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发明名称 VERFAHREN ZUR UEBERTRAGUNG VON POLYIMIDZAPFEN.
摘要
申请公布号 DE3780407(D1) 申请公布日期 1992.08.20
申请号 DE19873780407 申请日期 1987.09.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CHALOUX, JR., PAUL NORMAND, WAPPINGERS FALLS NY 12590, US;HOUGHTON, THOMAS FREDERICK, BEACON NY 12508, US
分类号 H01L21/3213;H01L21/285;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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