发明名称 MATERIALIEN FUER HALBLEITERSUBSTRATE MIT MOEGLICHKEIT ZUM GETTERN.
摘要
申请公布号 DE3485808(D1) 申请公布日期 1992.08.20
申请号 DE19843485808 申请日期 1984.02.13
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC., ST. PETERS, MO., US 发明人 HILL, DALE EUGENE, KIRKWOOD MISSOURI 63122, US
分类号 H01L21/205;H01L21/314;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址