电容式测量行程的方法及装置

摘要

电容式测量行程的方法和装置属于电容式行程测量的技术领域。它由发送部件上的发送电极与接收部件上接收电极构成电容元件，每条接收电极与发送电极平行，且可与电极垂直的方向上作相对运动。其特征是发送电极所加的振荡电压幅值是受由接收电极来的电流进行反馈控制的；接收电极上对高频电流的整流是由二极管对和电容所组成，它再经整形成为锯齿形电压输出。本发明是一种高精度、高稳定性、测量范围宽的行程测量方法和装置。

主权项

1、一种电容式测量行程的方法，由称为尺子的长的发送部件其上有按长度方向上以间隔周期为P排列着的多根条状发送电极及相间的条状接地电极和比发送电极短、且与发送电极基本平行并保持一定间隙、并与发送电极相间地排列着的接收电极组成的接收部件构成一电容测量元件，在发送电极上加以高频电压，使发送部件上沿其运动方向产生以P为周期的高频电场，将接收电极在条状电极的垂直方向上对发送电极作相对运动，接收电极上就产生高频电流，此高频电流通过二极管对和电容组成的整流电路整流成直流电流，将其不同相位的直流电流中包含着的在相对运动中因电容变化而产生的以P为周期的不同相位的电流正弦信号，通过放大电路放大，得到多个一个以P为2π的空间圆周角上均匀分布的不同相位的电压正弦信号，再经信号处理电路处理得到一与行程变化有关的锯齿形信号，然后再经输出电路使其输出一个与接收电极相对发送电极运动的行程直接有关的数字量或模拟量。