| 发明名称 |
PRECISION RESISTOR BY SELF-ALIGNED SILICON COMPOUND MOS PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04229647(A) |
申请公布日期 |
1992.08.19 |
| 申请号 |
JP19910097102 |
申请日期 |
1991.04.26 |
| 申请人 |
DIGITAL EQUIP CORP <DEC> |
发明人 |
BIYORUN KEI EI ZETSUTAARANDO |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/329;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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