发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE INCLUDING ELECTROSTATIC CAPACITY ELEMENT; ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04229646(A) 申请公布日期 1992.08.19
申请号 JP19910129773 申请日期 1991.05.31
申请人 CANON INC 发明人 INOUE SHUNSUKE;SAKASHITA YUKIHIKO;KIKUCHI SHIN;YUZURIHARA HIROSHI;NAKAMURA YOSHIO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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