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发明名称 PROCESS FOR MAKING DIAMOND, DOPED DIAMOND, DIAMOND-CUBIC BORON NITRIDE COMPOSITE FILMS AT LOW TEMPERATURE
摘要
申请公布号 EP0479907(A4) 申请公布日期 1992.08.19
申请号 EP19900911169 申请日期 1990.06.25
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 发明人 DESHPANDEY, CHANDRA, V.;BUNSHAH, ROINTAN, F.;DOERR, HANS, J.
分类号 C23C14/30;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/30;B05D5/12 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
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