发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0146895(B1) 申请公布日期 1992.08.19
申请号 EP19840115477 申请日期 1984.12.14
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 HIGUCHI, TAKAYOSHI C/O PATENT DIVISION
分类号 H01L21/033;H01L21/762 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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