发明名称 OXIDE REMOVAL FROM METALLIC CONTACT BUMPS FORMED ON SEMICONDUCTOR DEVICES TO IMPROVE HYBRIDIZATION COLD-WELDS
摘要
申请公布号 IL87554(A) 申请公布日期 1992.08.18
申请号 IL19880087554 申请日期 1988.08.24
申请人 SANTA BARBARA RESEARCH CENTER 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/98;H01L23/48;H01L23/485;H01L25/04;(IPC1-7):H01L25/00 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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