发明名称 |
OXIDE REMOVAL FROM METALLIC CONTACT BUMPS FORMED ON SEMICONDUCTOR DEVICES TO IMPROVE HYBRIDIZATION COLD-WELDS |
摘要 |
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申请公布号 |
IL87554(A) |
申请公布日期 |
1992.08.18 |
申请号 |
IL19880087554 |
申请日期 |
1988.08.24 |
申请人 |
SANTA BARBARA RESEARCH CENTER |
发明人 |
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分类号 |
H01L21/60;H01L21/98;H01L23/48;H01L23/485;H01L25/04;(IPC1-7):H01L25/00 |
主分类号 |
H01L21/60 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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