| 发明名称 |
METHOD FOR REDUCING PARTICULATE CONTAMINATION IN PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04228573(A) |
申请公布日期 |
1992.08.18 |
| 申请号 |
JP19900407741 |
申请日期 |
1990.12.27 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YONEKURA HIROAKI |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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