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发明名称 REACTANT SURFACE TREATMENT OF WORK AND TREATMENT CHAMBER THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH04228575(A) 申请公布日期 1992.08.18
申请号 JP19910166530 申请日期 1991.04.11
申请人 BALZERS AG 发明人 HAINRITSUHI FUITSUSHIYAA
分类号 C23C14/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01J37/32 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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