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发明名称 PURIFICATION OF NITROGEN TRIFLUORIDE GAS
摘要
申请公布号 JPH04228408(A) 申请公布日期 1992.08.18
申请号 JP19900408293 申请日期 1990.12.27
申请人 MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 HARADA ISAO
分类号 C01B21/083 主分类号 C01B21/083
代理机构 代理人
主权项
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