| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SCHICHTEN AUS EINEM OXIDKERAMISCHEN SUPRALEITERMATERIAL AUF EINEM SUBSTRAT MITTELS CVD-PROZESS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT79418(T) |
申请公布日期 |
1992.08.15 |
| 申请号 |
AT19900104671T |
申请日期 |
1990.03.12 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
MUELLER, ALFRED, DR. |
| 分类号 |
C04B35/00;C23C16/40;H01L39/24;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
C04B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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