发明名称 METHOD OF DEFINING CRYSTAL DIRECTIONS @110@ IN SEMICONDUCTOR MATERIALS OF @@@ TYPE
摘要
申请公布号 SU1755335(A1) 申请公布日期 1992.08.15
申请号 SU19904837887 申请日期 1990.06.12
申请人 NII POLUPROVODNIKOVYKH PRIBOROV 发明人 VOZMILOVA LIDIYA N,SU;PENINA MARINA A,SU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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