| 发明名称 |
METHOD FOR IRRADIATING BODY WITH CHARGED PARTICLE BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04226021(A) |
申请公布日期 |
1992.08.14 |
| 申请号 |
JP19910103449 |
申请日期 |
1991.04.09 |
| 申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV |
发明人 |
IARIFU PORITEIIKU;HENRIKASU YOZEFU RIFUTAARUTO |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J27/22;H01J37/147;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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