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发明名称 PROJECTION-TYPE ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH04225514(A) 申请公布日期 1992.08.14
申请号 JP19900408096 申请日期 1990.12.27
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIRAISHI NAOMASA
分类号 G02B3/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G02B3/00
代理机构 代理人
主权项
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