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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号
JPH04225219(A)
申请公布日期
1992.08.14
申请号
JP19900418591
申请日期
1990.12.26
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD
发明人
CHIYOU KOUYUU;YAMAZAKI SHUNPEI;INUSHIMA TAKASHI
分类号
H01L21/203;C23C14/50;C23C14/54
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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