| 发明名称 |
METAL VAPOR GENERATION DEVICE AND VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH DEVICE USING SAID DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04225535(A) |
申请公布日期 |
1992.08.14 |
| 申请号 |
JP19900408164 |
申请日期 |
1990.12.27 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MARUYAMA KENJI;SAITO TETSUO;MURAKAMI SATOSHI;SAKACHI YOICHIRO;NISHINO HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/24;H01L21/203;H01L21/363 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
