发明名称 SILICON SUBSTRATE HAVING EPITAXIAL SUPERCONDUCTIVE LAYER, AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04226090(A) 申请公布日期 1992.08.14
申请号 JP19910086497 申请日期 1991.04.18
申请人 UNIV LELAND STANFORD JR 发明人 JIYOOJI AREN NEEBUIRU KOONERU;DEIBUITSUDO BURITEIN FUENAA;JIEIMUZU BATSUKURII BOISU;DEIBUITSUDO KAATORANDO FUOOKU
分类号 C01G1/00;C01G3/00;C30B23/02;C30B29/06;C30B29/22;C30B33/08;H01L21/203;H01L39/24 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
主权项
地址