发明名称 |
SILICON SUBSTRATE HAVING EPITAXIAL SUPERCONDUCTIVE LAYER, AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04226090(A) |
申请公布日期 |
1992.08.14 |
申请号 |
JP19910086497 |
申请日期 |
1991.04.18 |
申请人 |
UNIV LELAND STANFORD JR |
发明人 |
JIYOOJI AREN NEEBUIRU KOONERU;DEIBUITSUDO BURITEIN FUENAA;JIEIMUZU BATSUKURII BOISU;DEIBUITSUDO KAATORANDO FUOOKU |
分类号 |
C01G1/00;C01G3/00;C30B23/02;C30B29/06;C30B29/22;C30B33/08;H01L21/203;H01L39/24 |
主分类号 |
C01G1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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