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发明名称 MICROWAVE PLASMA TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04225227(A) 申请公布日期 1992.08.14
申请号 JP19900407008 申请日期 1990.12.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIHARA SATOSHI
分类号 C23F4/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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