发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04225539(A) 申请公布日期 1992.08.14
申请号 JP19900407919 申请日期 1990.12.27
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 MIYAUCHI KATSUYOSHI
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址
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