发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04223241(A) 申请公布日期 1992.08.13
申请号 JP19900414006 申请日期 1990.12.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 INOUE TSUYOSHI;MIZUNO MICHIHIRO
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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