| 发明名称 |
APPARATUS FOR COATING SUBSTRATE WITH CATHODE SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04224677(A) |
申请公布日期 |
1992.08.13 |
| 申请号 |
JP19910054660 |
申请日期 |
1991.03.19 |
| 申请人 |
LEYBOLD AG |
发明人 |
BERUNTO HENZERU;UUBUE KOPATSU;DEIITAA HOFUMAN;HANSU SHIYUUSURAA;GUNTAA EKUHARUTO |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/50;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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