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发明名称
CVD DEVICE AND FILM THICKNESS MONITORING METHOD
摘要
申请公布号
JPH04221819(A)
申请公布日期
1992.08.12
申请号
JP19900405443
申请日期
1990.12.25
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KATSUMATA YUKIO
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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